Wettbewerbs­fähige Lösun­gen für mikro­akus­ti­sche Gerä­te 

Zusammenfassung:

Das Forschungsinstitut Silicon Austria Labs (SAL) in Villach hat ein neues Projekt gestartet, um kleine Schallgeräte (MEMS-Geräte) zu verbessern. Das Projekt läuft über dreieinhalb Jahre. Das Ziel ist, neue piezoelektrische Dünnschichten zu entwickeln, die modernste Halbleitertechnologie zu verbessern und eine neue Generation von MEMS-Geräten zu entwerfen. Es konzentriert sich auf die Entwicklung von neuen Lösungen für kleine Lautsprecher, die etwa in Kopfhörern oder smarten Brillen verwendet werden könnten. An dem Projekt sind auch internationale Unternehmen beteiligt.

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Am Vil­la­cher Stand­ort der Sili­con Aus­tria Labs (SAL) wur­de ein neu­es For­schungs­pro­jekt mit dem Ziel gestar­tet, die Ent­wick­lung mikro­akus­ti­scher MEMS-Gerä­te vor­an­zu­trei­ben. Das Pro­jekt setzt neue tech­no­lo­gi­sche Maß­stä­be und ist auf drei­ein­halb Jah­re ange­setzt. Wäh­rend die­ser Zeit zielt das Pro­jekt­team dar­auf ab, neu­ar­ti­ge pie­zo­elek­tri­sche Dünn­schicht­kon­fi­gu­ra­tio­nen zu ent­wi­ckeln, den aktu­el­len Stand der Tech­nik im Bereich der Halb­lei­ter­fer­ti­gungs­tech­no­lo­gie zu ver­bes­sern und eine neue Gene­ra­ti­on von mikro­akus­ti­schen MEMS-Gerä­ten zu ent­wer­fen. Der Fokus liegt auf der Ent­wick­lung neu­er tech­ni­scher Lösun­gen für MEMS-Mikro­laut­spre­cher mit ver­schie­de­nen poten­zi­el­len Anwen­dungs­mög­lich­kei­ten, zum Bei­spiel in Kopf­hö­rern oder smar­ten Bril­len.  

Inter­na­tio­na­les Kon­sor­ti­um 

Das Pro­jekt MUSIC wird von Seni­or Sci­en­tist Anna­li­sa De Pas­ti­na vom For­schungs­be­reich Pie­zo­elec­tric Micro­sys­tem Tech­no­lo­gies bei SAL gelei­tet. Bei den Sili­con Aus­tria Labs sind die bei­den For­schungs­ein­hei­ten Pie­zo­elec­tric Micro­sys­tem Tech­no­lo­gies und Thin Film Tech­no­lo­gies am Pro­jekt betei­ligt. Neben den SAL besteht das Kon­sor­ti­um aus den vier renom­mier­ten Indus­trie­part­nern STMi­croelec­tro­nics, USound, EV Group und Eva­tec. Der Lei­ter des For­schungs­be­reichs Micro­sys­tems Mohs­sen Mori­di freut sich dar­auf, gemein­sam mit nam­haf­ten inter­na­tio­na­len Part­nern an der Ent­wick­lung von neu­en tech­ni­schen Lösun­gen zu arbei­ten. „Der Ergeb­nis­se die­ser frucht­ba­ren Zusam­men­ar­beit wer­den einen posi­ti­ven Ein­fluss auf MEMS und die Inte­gra­ti­on fort­schritt­li­cher pie­zo­elek­tri­scher Dünn­schicht­tech­no­lo­gien haben und zu einer Viel­zahl neu­er Anwen­dun­gen füh­ren.“